|
|
|
ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ АКСЕЛЕРОМЕТРЫМикродатчики обычно реализуются из кремния. Поскольку кремний не обладает пьезоэлектрическими свойствами, при формировании интегрированного микродатчика на кремниевую консольную балку наносится тонкая пленка из титаната свинца. Для улучшения частотных характеристик пьезоэлектрический сигнал усиливается при помощи преобразователей заряд-напряжение или ток-напряжение, встроенных в один и тот же корпус с пьезоэлектрическим кристаллом. . Пьезоэлектрический эффект (не путайте с пьезорезистивным) часто лежит в основе сенсоров вибраций и ускорений. Этот эффект заключается в прямом преобразовании механической энергии в электрическую в материалах, имеющих кристаллическую структуру, включающую в себя электрические диполи (раздел 3.6 главы 3). Эти датчики работают в частотном диапазоне менее 2 Гц....5кГц. Они также обладают хорошим подавлением внеосевых шумов, высокой линейностью и широким температурным диапазоном (до 120СС). Хотя иногда в качестве чувствительных элементов применяются кварцевые кристаллы, все же большее рас— 
Рис. 8.6. Принципиальная схема пьезоэлектрического
акселерометра. Ускорение, действующее на датчик, приводит к разности
перемещений кожуха и инерционной массы, в результате чего появляется сила,
действующая на кристалл. Выходной сигнал акселерометра прямо пропорционален
ускорению или уровню вибраций
пространение для этих целей получили керамические
пьезоэлектрические материалы, такие как титанат бария, титанат цирконат свинца
(PZT) и метаниобат свинца. Кристалл располагается между кожухом и инерционной
массой, на которую действует сила, пропорциональная ускорению (рис.8.6).
Информация исключительно в ознакомительных целях. При использовании материалов этого сайта ссылка обязательна.Правообладатели статей являются их правообладателями. |
По вопросам размещения статей пишите на email:
|
